Brevets (publiés) année 2001 Brevets 2002 Année 2001 31 mai 2001 Couche de silicium très sensible à l’oxygène et procédé d’obtention de cette couche IRAMIS, LENSIS 26 avril 2001 Génération d’un brouillard dense de gouttelettes micrométriques pour la lithographie dans l’UV extrême IRAMIS Brevets 2000
31 mai 2001 Couche de silicium très sensible à l’oxygène et procédé d’obtention de cette couche IRAMIS, LENSIS
26 avril 2001 Génération d’un brouillard dense de gouttelettes micrométriques pour la lithographie dans l’UV extrême IRAMIS
