Brevets (publiés) année 2002 Brevets 2003 Année 2002 31 octobre 2002 Procédé de fabrication de nanostructures unidimensionnelles IRAMIS, LENSIS 31 octobre 2002 Procédé de traitement de la surface d’un matériau semi-conducteur IRAMIS, LENSIS 24 octobre 2002 Procédé et dispositif de génération de lumière dans l’extrême ultraviolet notamment pour la lithographie IRAMIS 12 septembre 2002 Procédé de greffage organique localisé sans masque sur des portions conductrices ou semiconductrices de surfaces composites IRAMIS 26 août 2002 Procédé de soudage d’une surface polymère avec une surface conductrice ou semi-conductrice IRAMIS Brevets 2001
24 octobre 2002 Procédé et dispositif de génération de lumière dans l’extrême ultraviolet notamment pour la lithographie IRAMIS
12 septembre 2002 Procédé de greffage organique localisé sans masque sur des portions conductrices ou semiconductrices de surfaces composites IRAMIS
26 août 2002 Procédé de soudage d’une surface polymère avec une surface conductrice ou semi-conductrice IRAMIS
