Plusieurs types de microscopies électroniques sont disponibles à l'IRAMIS :
- – Microscopie à transmission (TEM : Transmission Electron Microscope), qui permet d'atteindre les plus hautes résolutions par diffusion/difffraction d'un faisceau d'électrons à travers un échantillon ultra-mince
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– Microscopie MEB et MEB-FEG (SPAM et SIS2M), ou microscopie à balayage, pour laquelle un faisceau d'électrons balaye la surface de l'échantillon permettant d'obtenir une image de sa surface.
Le canon à émission de champ (FEG : Field Emission Gun) permet d'obtenir une très haute brillance pour une taille de source réduite.
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– Microscopie LEEM (Low Energy Electron Microscopy / PEEM (PhotoEmission Electron Microscopy) au SPCSI.
Dans La microscopiei LEEM, les électrons lents (énergie des électrons de quelques électron-volts, lors de l'interaction) sont rétrodiffusés à la surface d'un échantillon, que l'on peut ainsi visualiser avec une une très haute résolution.
Ce microscope permet aussi l'image de la surface à partir des électrons photoémis suite à un éclairement laser ou rayonnement synchrotron (PEEM : Photo-Emission Electron Microscopy).
