Procédé et dispositif de génération de lumière dans l’extrême ultraviolet notamment pour la lithographie 24 octobre 2002
Procédé de greffage organique localisé sans masque sur des portions conductrices ou semiconductrices de surfaces composites 12 septembre 2002
Procédé de soudage d’une surface polymère avec une surface conductrice ou semi-conductrice 26 août 2002
Génération d’un brouillard dense de gouttelettes micrométriques pour la lithographie dans l’UV extrême 26 avril 2001
Couche monoatomique et monocristalline de grande taille, en carbone de type diamant, et procédé de fabrication de cette couche 8 juin 2000
Film de détection d’une espèce chimique, capteur chimique et procédé de fabrication de ceux-ci 16 mars 2000
Fils atomiques de grande longueur et de gande stabilite, procédé de fabrication de ces fils, application en nano-électronique 25 juin 1998
