Le Laboratoire Commun Nanolite a été sélectionné début 2019 sur le programme LabCom de l’ANR.
Il permettra de renforcer la collaboration existante entre le LIDYL et la société Imagine Optic.
Il vise à mettre en place une plateforme laser pour métrologie dans le domaine extrême ultraviolet (EUV, typiquement à la longueur d’onde de 13 nm), crucial pour de multiples secteurs allant des besoins des installations produisant du rayonnement synchrotron (particulièrement dans l’Extrême UV) à la microélectronique (lithographie), en passant par la recherche académique (imagerie dynamique de domaines magnétiques, ferromagnétisme…)
Le LabCom Nanolite consiste en l’élaboration et la mise en œuvre d’une ligne de lumière cohérente et ultrabrève de haute performance dans l’ultraviolet extrême ainsi qu’au développement de nouvelles briques technologiques et de l’instrumentation appropriée, notamment un banc d’imagerie nanométrique d’objets étendus. Ces travaux de recherche et développement reposeront sur les expertises complémentaires du LIDYL en génération de rayonnement cohérent ultrabref de courte longueur d’onde par laser et d’Imagine Optic en caractérisation et génération de fronts d’onde à façon (masques holographiques, mesures de la qualité des optiques pour le rayonnement synchrotron…).