Brèves de l’IRAMIS n° 323 (Janvier 2023)
La NanoSpace : gravure, imagerie et analyse chimique à l’échelle nanométrique avec un unique équipement Fabrice Gourbilleau (CIMAP/NIMPH) Le CIMAP (UMR 6252 CNRS, CEA, Ensicaen, Université de Caen) vient d’acquérir un équipement couplant l’imagerie de microscopie électronique à balayage (MEB) avec une colonne ionique focalisée plasma (FIB), pour la gravure, et un spectromètre de masse des…