Thèse

La gamme d’énergie de photons de l’extrême ultraviolet (EUV, 10-100 nm) est cruciale pour de nombreuses applications allant de la physique fondamentale (attophysique, femto-magnétisme) aux domaines appliqués telles que la lithographie et la microscopie à l’échelle du nanomètre. Cependant, il n’existe pas de source naturelle de lumière dans ce domaine spectral sur Terre, car les photons sont fortement absorbés par la matière, ce qui nécessite un environnement sous vide. Il faut donc s’en remettre à des sources coûteuses, telles que les synchrotrons, les lasers à électrons libres ou les plasmas générés par des lasers intenses. La génération d’harmoniques laser d’ordre élevé (HHG), découverte il y a 30 ans et récompensée par le prix Nobel de physique en 2023, est une alternative prometteuse en tant que source de rayonnement EUV à l’échelle du laboratoire. Basée sur une interaction fortement non linéaire entre un laser de très courte durée et un gaz atomique, elle permet l’émission d’impulsions EUV d’une durée allant de la femtoseconde à l’attoseconde, avec des propriétés de cohérence très élevées et des flux relativement importants. Malgré des recherches intensives qui ont permis de comprendre clairement le phénomène, son utilisation a jusqu’à présent été essentiellement circonscrite aux laboratoires. Pour combler le fossé qui nous sépare des applications industrielles, il faut accroître la fiabilité de ces lignes de lumière, soumises à d’importantes fluctuations en raison de la forte non-linéarité du mécanisme, et développer des outils pour mesurer et contrôler leurs propriétés.

Le CEA/LIDYL et la PME Imagine Optic ont récemment réuni leur expertise dans un laboratoire commun afin de développer une ligne de faisceau EUV stable dédiée à la métrologie et aux capteurs EUV. Le laboratoire NanoLite, hébergé au CEA/LIDYL, est basé sur une ligne de faisceau HHG compacte à haut taux de répétition fournissant des photons EUV autour de 40eV. Plusieurs capteurs de front d’onde EUV ont été étalonnés avec succès au cours des dernières années. Cependant, de nouveaux besoins sont apparus récemment, entraînant la nécessité de moderniser la ligne de faisceau.

Le premier objectif du doctorant sera d’installer une nouvelle géométrie HHG sur la ligne de faisceau afin d’améliorer sa stabilité et son efficacité globales et d’augmenter l’énergie des photons à 92eV, une cible en or pour la lithographie. Il mettra ensuite en œuvre la génération d’un faisceau EUV porteur d’un moment angulaire orbital et améliorera le détecteur d’Imagine Optic pour caractériser son contenu en OAM. Enfin, avec l’aide des ingénieurs d’Imagine Optic, il développera une nouvelle fonctionnalité pour leurs capteurs de front d’onde afin de permettre la caractérisation de grands faisceaux.