Revêtement anti-reflet, en particulier pour cellules solaires, et procédé de fabrication de ce revêtement
Revêtement anti-reflet, en particulier pour cellules solaires, et procédé de fabrication de ce revêtement. Un revêtement anti-reflet (4) conforme à l’invention comprend une couche interne antireflet (6) de silicium poreux et une couche externe (8) d’oxynitrure de silicium non poreuse et exempte d’espèces étrangères, formée sur la couche interne.
Antireflection coating, particularly for solar cells, and method for producing this coating (Lien WIPO)
The invention relates to an antireflection coating, particularly for solar cells, and to a method for producing this coating. An inventive antireflection coating (4) comprises at least one antireflection inner layer (6) made of porous silicon and comprises an outer layer (8) made of silicon oxynitride, which is essentially non-porous, essentially free from foreign supecies and which is formed on the inner layer.
Contact: P. Soukiassian