Numéro d’identification : WO/2011/117407 (lien WIPO)
Numéro d’identification CEA BD 11723                  
Année de dépôt : 26-03-2010
Date de publication : 29-03-2011

Procédé pour graver une couche d'oxyde métallique conducteur utilisant une microélectrode
L'invention concerne un procédé pour graver une zone sélectionnée d'une couche d'oxyde métallique conducteur déposée sur un support, consistant à éliminer ladite zone par voie électrochimique en présence d'une microélectrode polarisée et d'une solution électrochimique. La présente invention concerne également la couche gravée obtenue par un tel procédé.

The invention relates to a method for etching a selected area of a conductive metal oxide layer deposited onto a substrate, said method involving the electrochemical removal of said area in the presence of a polarized microelectrode and an electrochemical solution. The present invention also relates to the etched layer that is achieved by such a method.