Numéro d'identification : WO/2005/004555 (Lien OMPI et Fichier PDF associé)
Numéro d'identification CEA BD1471
Année de dépôt : 27-06-2003
Date de publication : 13-01-2005

Procédé et dispositif de production d'un rayonnement ultraviolet extrême ou d'un rayonnement x a faible énergie.

Le dispositif générateur d'ultraviolet extrême (EUV) ou d'un rayonnement X à faible énergie, comprend une source laser (12) de production d'un rayonnement laser (11) qui est concentré à des intensités dépassant 10⁶ W/cm² sur une cible pour produire un plasma, et des électrodes montées sur un bloc électriquement isolant (6) et disposées dans l'environnement du trajet du plasma produit par la source laser (12). Les électrodes sont combinées avec un dispositif produisant une décharge électrique rapide dans le plasma, ayant une constante de temps caractéristique qui est inférieure à la constante de temps d'expansion de plasma produit par le laser.

Method and device for producing extreme ultraviolet radiation or soft x-ray radiation
(lien WIPO)

The device for generating extreme ultraviolet (EUV) or soft X-ray radiation comprises a laser source (12) for producing a laser radiation (11) which is focused to intensities beyond 10⁶ W/cm² onto a target to produce a plasma and electrodes mounted on an electrically insulating block (6) and located around the path of the plasma produced by the laser source (12). The electrodes are combined with a device for producing a rapid electric discharge in the plasma with a characteristic time constant which is less than the time constant of the laser produced plasma expansion time.

Contact: M. Schmidt