Manuscrit de la thèse. Résumé : L’électronique moléculaire cherche à exploiter les propriétés de transport des électrons d’une ou d’un petit ensemble de molécules à travers les orbitales frontières. Son développement passe par la réalisation de composés hybrides, alliant des éléments actifs moléculaires à la technologie CMOS actuelle. Le but de ce travail est la réalisation d’un dispositif de ce type dans lequel une monocouche moléculaire complexe constitue le coeur électroactif d’un dispositif vertical. L’électrode inférieure est constituée par le substrat de silicium sur lequel la monocouche est greffée de façon covalente. L’électrode supérieure est constituée d’un nanotube de carbone simple paroi. Cette électrode nanométrique préconstruite limite le nombre de molécules connectés. Le nanotube est ensuite connecté à électrodes d’or construite par un procédé top-down classique. La première partie de ce travail c’est donc concentrée sur la synthèse multiétapes de monocouches moléculaires complexes greffées sur surfaces de silicium terminé hydrogène. Ce procédé implique trois étapes : la réalisation de substrats de silicium (111) terminés hydrogène atomiquement plans par gravure humide anisotrope, puis la formation d’une monocouche d’accroche aliphatique portant un groupement fonctionnel par greffage covalent sur ces substrats et enfin l’utilisation de ces couches d’accroche dans des réactions chimiques classiques pour la formation complète de l’édifice cible. Ce procédé séquentiel a été choisi de façon à ne pas détérioré l’édifice moléculaire par les conditions de greffage sur le silicium. Pour la formation de la monocouche d’accroche, deux méthodes de greffages ont été particulièrement étudiées : l’hydrosilylation thermiques d’alc-1-ènes w-fonctionnalisés et le greffage par clivage électrochimique de composés halogénés. L’un des résultats principal apporté par ce travail est l’influence de l’encombrement stérique du groupement fonctionnel terminal sur la compacité de la monocouche obtenue. Enfin, la réactivité de monocouches d’accroche terminées carboxyl et ester N-succinimidyl a été mise à profit dans des réactions d’estérification et d’amidification douces pour construire les édifices cibles. Au cours de ces trois étapes, les surfaces ont été caractérisées par FTIR-ATR, XPS et AFM. Une attention particulière est portée sur la réoxydation du substrat de silicium au cours des différentes étapes. Dans une seconde partie, nous nous sommes attachés à réaliser par des méthodes de nanofabrication top-down classiques un dispositif électronique permettant d’interfacer la monocouche greffée sur silicium à des électrodes microscopiques. Ce dispositif présente un profil en double tranchée réalisé dans un oxyde épais. Il constitue un début de réponse à deux contraintes antagonistes caractéristiques de l’électronique moléculaire : d’une part le nanotube de carbone doit toucher la monocouche, épaisse de quelques nanomètres, et d’autre part, les contacts entre le nanotube et les électrodes d’or doivent être réalisés sur une épaisseur d’oxyde suffisante pour éviter tout courant de fuite avec le silicium sous-jacent. Sans avoir permis de mesure des propriétés électroniques de la monocouche, ce dispositif constitue cependant un premier pas vers l’intégration de composant actifs moléculaires dans une architecture CMOS.
DRECAM/SPCSI