Source pulsée d’électrons et système d’analyse de surface comprenant une telle source pulsée

Source pulsée d’électrons et système d’analyse de surface comprenant une telle source pulsée

Source pulsée d'électrons et système d'analyse de surface comprenant une telle source pulsée

L'invention concerne un système d'analyse de surface d'un matériau comprenant: – une source pulsée d'électrons (10) formant un faisceau monochromatique d'électrons incidents (100); – des moyens d'acheminement (20) des électrons incidents (100) vers la surface d'un échantillon de matériau (55), de manière à former des électrons rétrodiffusés (110), et des électrons rétrodiffusés (110) vers des moyens de détection, lesdits moyens d'acheminement comprenant au moins une optique électronique; – des moyens de détection (30) des électrons rétrodiffusés (110); ladite source pulsée d'électrons comprenant : – une source d'atomes (16); – un faisceau laser continu (15) configuré pour former une zone d'excitation laser (15a) apte à exciter les atomes (16) vers des états de Rydberg; – un champ électrique pulsé (F) de part et d'autre de la zone d'excitation laser, configuré pour ioniser au moins les atomes excités et former un faisceau d'électrons (100) monochromatique.

Contact : Barrett Nick (SPEC/LENSIS)


Pulsed electron source and surface analysis system comprising such a pulsed source (WIPO link)

The invention relates to a system for analysing the surface of a material, comprising: – a pulsed electron source (10) forming a monochromatic beam of incident electrons (100); – means (20) for conveying incident electrons (100) to the surface of a material sample (55) in such a way as as to form backscattered electrons (110), and backscattered electrons (110) to detection means, the conveying means comprising at least one electron optic; – means (30) for detecting backscattered electrons (110); the pulsed electron source comprising: – a source of atoms (16); – a continuous laser beam (15) configured to form a laser excitation zone (15a) capable of exciting the atoms (16) into Rydberg states; – a pulsed electric field (F) on either side of the laser excitation zone, designed to ionise at least the excited atoms and to form a monochromatic electron beam (100).

Contact : Barrett Nick (SPEC/LENSIS)