Débitmètre miniature à pression différentielle
L'invention concerne un capteur de vitesse d'écoulement de fluide utilisant une mesure de pression différentielle et comprenant un empilement (200) ayant une pointe (230) pointant dans une première direction, ledit empilement comprenant des première et seconde plaques (210A-210B) disposées en parallèle l'une de l'autre le long de la première direction; et un diaphragme sensible à la pression (220) disposé entre les première et seconde plaques (210A-210B) le long de la première direction. Le dit diaphragme sensible à la pression (220) est espacé de la première plaque (210A) par une première cavité et de la seconde plaque (210B) par une seconde cavité. La première cavité est entièrement scellé, sauf au niveau de la pointe (230) de l'empilement de manière à être sous une pression d'arrêt pendant le fonctionnement du capteur de vitesse d'écoulement de fluide, et la seconde cavité est ouverte de manière à être sous une pression de référence pendant le fonctionnement du capteur de vitesse d'écoulement de fluide. Le capteur de vitesse d'écoulement de fluide comprend en outre un détecteur configuré pour la mesure.
Contact CEA : I. Braslau et Iouri Moukharski (SPEC/GNE).
Miniature differential pressure flow sensor (EPO link)
A fluid flow velocity sensor using a differential pressure measurement includes a stack having a tip pointing in a first direction, the stack including first and second plates arranged in parallel one another along the first direction; and a pressure-sensitive diaphragm arranged between the first and second plates along the first direction, the pressure-sensitive diaphragm being spaced apart from the first plate by a first cavity and from the second plate by a second cavity. The first cavity is entirely sealed, except at the tip of the stack, so as to be under a stagnation pressure during operation of the fluid flow velocity sensor. The second cavity is opened so as to be under a reference pressure during operation of the fluid flow velocity sensor. The fluid flow velocity sensor includes a detector to measure a parameter representative of the differential pressure between the first and the second cavities.
Contact CEA: I. Braslau et Iouri Moukharski (SPEC/GNE).
