Génération d’un brouillard dense de gouttelettes micrométriques pour la lithographie dans l’UV extrême
Procédé et dispositif de génération d’un brouillard dense de gouttelettes micrométriques et sub-micrométriques. Application à la génération de lumière dans l’extrême ultraviolet notamment pour la lithographie. Selon l’invention, on injecte un liquide pressurisé (4) dans une buse (10) de très faible diamètre débouchant dans le vide. La lumière (42) est engendrée par focalisation d’un rayonnement laser (36) sur le brouillard dense (23).
Production of a dense mist of micrometric droplets in particular for extreme UV lithography
(WIPO link)
The invention concerns a method and a device for producing a dense mist of micrometric and sub-micrometric droplets, used for light generation in the extreme ultraviolet in particular for lithography. The invention is characterized in that it consists in injecting pressurized liquid (4) into a nozzle (10) with a small diameter emerging into vacuum. Light (42) is generated by focusing a laser radiation (36) onto the dense mist (23).
Contact: M. Schmidt
