Dispositif pour la caractérisation de composants électriques ou électroniques
Dispositif intégré (PM) pour la caractérisation de composants électriques ou électroniques (DUT), en particulier nanométriques, comportant un substrat (S) sensiblement isolant sur lequel sont déposés quatre plots conducteurs (P1, P2, P3, P4), au moins trois pistes résistives (R1, R3, R4) reliant les plots entre eux et une ligne de transmission (CPW) comportant un conducteur de signal (CC) et au moins un conducteur de masse (CL1, CL2). Les pistes résistives sont agencées pour relier le premier plot conducteur au deuxième et quatrième plot, et ce quatrième plot au troisième ; le conducteur de signal de la ligne de transmission est relié au premier plot conducteur; et le conducteur de masse de la ligne de transmission est relié au troisième.
Device for characterising electric or electronic components (WIPO link)
The invention relates to an integrated device (PM) for characterising electric or electronic components (DUT), in particular nanometric ones, comprising a substantially insulating substrate (S) on which are provided four conducting pads (P1, P2, P3, P4), at least three resistive pads (R1, R3, R4) connecting said pads together, and a transmission line (CPW) including a signal conductor (CC) and at least one ground conductor (CL1, CL2), wherein: the resistive pads are arranged so as to connect a first conducting pad to a second and a fourth conducting pad, and to connect the fourth conducting pad to the third ; the signal conductor of the transmission line is connected to the first conducting pad; and the ground conductor of the transmission line is connected to the third pad.
Contact: V. Derycke
