Le LICSEN est équipé pour la lithographie par faisceau d’électrons et a accès à la salle blanche du CEA-SPEC (litographie optique, gravure humide et sèche…). Nous disposons également de plusieurs MEB et AFM.
![](https://iramis.cea.fr/wp-content/uploads/2014/09/litho_licsen-1024x455.jpg)
Principaux contacts : Vincent Derycke
Le LICSEN est équipé pour la lithographie par faisceau d’électrons et a accès à la salle blanche du CEA-SPEC (litographie optique, gravure humide et sèche…). Nous disposons également de plusieurs MEB et AFM.
Principaux contacts : Vincent Derycke