Source pulsée d'électrons et système d'analyse de surface comprenant une telle source pulsée
L'invention concerne un système d'analyse de surface d'un matériau comprenant: – une source pulsée d'électrons (10) formant un faisceau monochromatique d'électrons incidents (100); – des moyens d'acheminement (20) des électrons incidents (100) vers la surface d'un échantillon de matériau (55), de manière à former des électrons rétrodiffusés (110), et des électrons rétrodiffusés (110) vers des moyens de détection, lesdits moyens d'acheminement comprenant au moins une optique électronique; – des moyens de détection (30) des électrons rétrodiffusés (110); ladite source pulsée d'électrons comprenant : – une source d'atomes (16); – un faisceau laser continu (15) configuré pour former une zone d'excitation laser (15a) apte à exciter les atomes (16) vers des états de Rydberg; – un champ électrique pulsé (F) de part et d'autre de la zone d'excitation laser, configuré pour ioniser au moins les atomes excités et former un faisceau d'électrons (100) monochromatique.
Contact : Barrett Nick (SPEC/LENSIS)
Pulsed electron source and surface analysis system comprising such a pulsed source (WIPO link)
The invention relates to a system for analysing the surface of a material, comprising: – a pulsed electron source (10) forming a monochromatic beam of incident electrons (100); – means (20) for conveying incident electrons (100) to the surface of a material sample (55) in such a way as as to form backscattered electrons (110), and backscattered electrons (110) to detection means, the conveying means comprising at least one electron optic; – means (30) for detecting backscattered electrons (110); the pulsed electron source comprising: – a source of atoms (16); – a continuous laser beam (15) configured to form a laser excitation zone (15a) capable of exciting the atoms (16) into Rydberg states; – a pulsed electric field (F) on either side of the laser excitation zone, designed to ionise at least the excited atoms and to form a monochromatic electron beam (100).
Contact : Barrett Nick (SPEC/LENSIS)
