L'éclairement, par un rayonnement suffisamment énergétique, de la surface d'un matériau peut conduire à l'émission d'électrons dont la spectroscopie (étude en énergie) apporte des informations sur la composition de la surface étudiée. On distingue principalement :
- spectroscopie XPS (X-ray Photoemission Spectroscopy) : nature chimique et emplacement dans le matériau
- spectroscopie Auger, AES (Auger Electrons Spectroscopy)
- spectroscopie UPS (Ultraviolet Photoemission spectroscopy) :
Ces techniques permettent d'identifier la nature des éléments chimiques dans la zone de surface de l'échantillon, et apportent des informations sur leurs localisations (XPS et AES), ainsi que sur la densité d'état électronique au niveau de Fermi (UPS).
