La diffraction cohérente est une technique étonnante par sa simplicité expérimentale : une source XUV cohérente illumine un échantillon unique, isolé, et la figure de diffraction de l’objet est enregistrée sur une caméra CCD. Une inversion de la figure de diffraction à une image dans l’espace réel est possible grâce à une approche basée sur des algorithmes itératifs. Les techniques d’holographie par transformée de Fourier, pour lesquelles une référence est placée à proximité de l’objet que l’on veut imager, permettent-elles la reconstruction directe de l’image, même lorsque la qualité des données expérimentales est moindre.
Tout d’abord, nous presenterons les techniques d’imagerie nanométrique 2D simple tir réalisées soit par diffraction cohérente, soit par holographie. En particulier, nous détaillerons l’impact du rapport signal sur bruit sur les reconstructions d’images. Pour finir, nous explorerons ensemble l’extension de l’imagerie 2D à l’imagerie 3D en simple tir. En effet, une perception d’un objet en trois dimensions nous donne une meilleure compréhension de celui-ci ce qui ouvre des perspectiuves d’applications importantes. La technique utilisée, l’ankylographie, exploite la courbure du front d’onde de diffraction afin de reconstruire l’information de profondeur de champ à partir d’une seule prise de vue.
LIDYL/ATTO