Dans cet exposé, je donnerai un résumé de mes principales activités de recherches en présentant quelques résultats majeurs. Un premier domaine d’activité concerne la physique moléculaire en champ fort en utilisant des lasers intenses et brefs. En particulier, j’ai étudié l’explosion coulombienne de molécules diatomiques, analysé les énergies de fragmentation et les distributions angulaires des fragments atomiques issus de l’explosion moléculaire. Le démarrage de mes études sur les agrégats en champ fort a marqué un changement thématique en direction de la physique des plasmas, la réponse des agrégats à l’excitation laser intense se révélant beaucoup plus violente que celle des atomes ou des molécules isolés. J’ai pu montrer que, suite à l’irradiation d’un agrégat, se forme un « nanoplasma » qui génère des rayons X et des fragments ioniques fortement chargés et très énergétiques que mon équipe a été le premier à caractériser complètement.
A la fin des années 1990, j’ai démarré une activité de recherche consacrée au développement de sources plasma pour la nanolithographie. La réalisation de prototypes de source plasma a nécessité d’une part un travail scientifique de fond pour comprendre le rôle des paramètres de l’interaction et optimiser l’émission EUV du plasma et d’autre part un effort technologique considérable pour satisfaire les différents choix scientifiques effectués en amont.
DRECAM/SPAM