Le SPEC s'est progressivement équipé d'un atelier de nanofabrication qui permet aux groupes de recherche d'y réaliser leurs échantillons. Cette installation du CEA, labellisée "centrale de proximité" en 2004 par le Ministère de l'Enseignement Supérieur et de la Recherche bénéficie également du soutien du CNRS, de la région Ile de France et de l'ANR (Agence nationale de la Recherche).