• Les archives de l'IRAMIS et du DRECAM / Archives of DRECAM and IRAMIS › Matériaux, surfaces et nanostructures
Physique, chimie, nanosciences et matériaux autour des grands instruments
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• Laboratory of Nanostructures Studies and Surface Imagery (LENSIS) • Laboratoire d'Etude des NanoStructures et Imagerie de Surface (LENSIS)
Vue schématique du dessus de la couche de carbone de type diamant conforme à l'invention en cours de formation sur un substrat 2 en SiC
Numéro d'identification : WO/2009/047423 (Lien OMPI et Fichier PDF associé)
Numéro d'identification CEA BD1259
Année de dépôt : 02-12-1998
Date de publication : 08-06-2000
Couche monoatomique et monocristalline de grande taille, en carbone de type diamant, et procédé de fabrication de cette couche
Selon l'invention, on forme un substrat monocristallin (2) en SiC terminé par un plan atomique de carbone selon une reconstruction c(2x2) et on effectue au moins un recuit du substrat, apte à transformer ce plan atomique, qui est un plan de dimères C≡C (4) de configuration sp, en un plan de dimères C-C (8) de configuration sp3. Application à la microélectronique, l'optique, l'optoélectronique, la micromécanique et aux biomatériaux.
The invention concerns a method which consists in forming a monocrystalline SiC substrate (2) ending in a carbon atomic plane according to a c(2x2) reconstruction and in at least annealing the substrate, for transforming said atomic plane, which is a plane of C≡C dimers (4) with sup configuration, into a plane of C-C dimers (8) with sup3 configuration. The invention is applicable in microelectronics, optics, optoelectronics, micromechanics and to biological materials.
Contact: P. Soukiassian