Le LNHB est le laboratoire primaire français pour la mesure des rayonnements ionisants, en charge des grandeurs d’activité (Becquerel) et de dose (Gray). La spectrométrie de photons est une des techniques secondaires présentes au laboratoire et depuis une vingtaine d’années développent des activités (étalonnage, mesures de grandeurs fondamentales, applications) dans le domaine des rayons X (E < 30 keV).
Parmi les nouvelles applications, le LNHB développe l’analyse combinée XRR-GIXRF (réflectivité X et fluorescence X en incidence rasante) sur source synchrotron pour la caractérisation métrologique des couches minces (épaisseur < 100 nm). L’originalité de la méthode consiste en la quantification de la fluorescence sans référence grâce à l’étalonnage en rendement des détecteurs et à la connaissance des paramètres fondamentaux (coefficients d’atténuation massique, …). Cette analyse permet de remonter par modèle à la structure des couches déposées (épaisseurs, rugosités, densités, composition).
