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Brevet : Source pulsée d'électrons et système d'analyse de surface comprenant une telle source pulsée
Barrett Nick, Comparat Daniel, Amiaud Lionel, Lafosse Anne, Hahn Raphael, Fedchenko Olena, Shoenhense Gerd, Picard Yan
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Numéro d’identification WO2021/224079 A1 (lien WIPO)
Numéro d’identification CEA : BD20317            
Année de dépôt : 05/05/2020
Date de publication : 11.11.2021

Source pulsée d'électrons et système d'analyse de surface comprenant une telle source pulsée

L'invention concerne un système d'analyse de surface d'un matériau comprenant: - une source pulsée d'électrons (10) formant un faisceau monochromatique d'électrons incidents (100); - des moyens d'acheminement (20) des électrons incidents (100) vers la surface d'un échantillon de matériau (55), de manière à former des électrons rétrodiffusés (110), et des électrons rétrodiffusés (110) vers des moyens de détection, lesdits moyens d'acheminement comprenant au moins une optique électronique; - des moyens de détection (30) des électrons rétrodiffusés (110); ladite source pulsée d'électrons comprenant : - une source d'atomes (16); - un faisceau laser continu (15) configuré pour former une zone d'excitation laser (15a) apte à exciter les atomes (16) vers des états de Rydberg; - un champ électrique pulsé (F) de part et d'autre de la zone d'excitation laser, configuré pour ioniser au moins les atomes excités et former un faisceau d'électrons (100) monochromatique.

 Contact :  Barrett Nick (SPEC/LENSIS)


Pulsed electron source and surface analysis system comprising such a pulsed source (WIPO link)

The invention relates to a system for analysing the surface of a material, comprising: - a pulsed electron source (10) forming a monochromatic beam of incident electrons (100); - means (20) for conveying incident electrons (100) to the surface of a material sample (55) in such a way as as to form backscattered electrons (110), and backscattered electrons (110) to detection means, the conveying means comprising at least one electron optic; - means (30) for detecting backscattered electrons (110); the pulsed electron source comprising: - a source of atoms (16); - a continuous laser beam (15) configured to form a laser excitation zone (15a) capable of exciting the atoms (16) into Rydberg states; - a pulsed electric field (F) on either side of the laser excitation zone, designed to ionise at least the excited atoms and to form a monochromatic electron beam (100).

 Contact :  Barrett Nick (SPEC/LENSIS)

 
#3418 - Last update : 01/17 2022

 

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