Numéro d’identification WO2021/224079 A1 (lien WIPO)
Numéro d’identification CEA : BD20317
Année de dépôt : 05/05/2020
Date de publication : 11.11.2021
Source pulsée d'électrons et système d'analyse de surface comprenant une telle source pulsée
L'invention concerne un système d'analyse de surface d'un matériau comprenant: - une source pulsée d'électrons (10) formant un faisceau monochromatique d'électrons incidents (100); - des moyens d'acheminement (20) des électrons incidents (100) vers la surface d'un échantillon de matériau (55), de manière à former des électrons rétrodiffusés (110), et des électrons rétrodiffusés (110) vers des moyens de détection, lesdits moyens d'acheminement comprenant au moins une optique électronique; - des moyens de détection (30) des électrons rétrodiffusés (110); ladite source pulsée d'électrons comprenant : - une source d'atomes (16); - un faisceau laser continu (15) configuré pour former une zone d'excitation laser (15a) apte à exciter les atomes (16) vers des états de Rydberg; - un champ électrique pulsé (F) de part et d'autre de la zone d'excitation laser, configuré pour ioniser au moins les atomes excités et former un faisceau d'électrons (100) monochromatique.
Contact : Barrett Nick (SPEC/LENSIS)
Pulsed electron source and surface analysis system comprising such a pulsed source (WIPO link)
The invention relates to a system for analysing the surface of a material, comprising: - a pulsed electron source (10) forming a monochromatic beam of incident electrons (100); - means (20) for conveying incident electrons (100) to the surface of a material sample (55) in such a way as as to form backscattered electrons (110), and backscattered electrons (110) to detection means, the conveying means comprising at least one electron optic; - means (30) for detecting backscattered electrons (110); the pulsed electron source comprising: - a source of atoms (16); - a continuous laser beam (15) configured to form a laser excitation zone (15a) capable of exciting the atoms (16) into Rydberg states; - a pulsed electric field (F) on either side of the laser excitation zone, designed to ionise at least the excited atoms and to form a monochromatic electron beam (100).
Contact : Barrett Nick (SPEC/LENSIS)
• Institut Rayonnement Matière de Saclay • UMR 3680 - Laboratory of Condensed Matter Physics (SPEC) • UMR 3680 - Service de Physique de l'Etat Condensé (SPEC)
• Laboratory of Nanostructures Studies and Surface Imagery (LENSIS) • Laboratoire d'Etude des NanoStructures et Imagerie de Surface (LENSIS)