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Dépôts, croissance, films minces
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Molecular Beam Epitaxy (MBE)

Les nanotechnologies requièrent de réaliser des édifices complexes à l'échelle atomique. Ceux-ci sont généralement réalisées par dépôts sur un substrat (métal ou oxyde). La maîtrise des phénomènes physiques de la croissance et de la réalisation de plots ou de films minces de structure bien définie est une des clés de la réalisation de nouveaux dispositifs aux propriétés nouvelles. Les équipes du DRECAM utilisent largement les différentes techniques de dépôt, de contrôle de la croissance et d'analyses et contribuent à les développer. 

Maj : 21/06/2005 (124)

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DSM/DRECAM/SPCSI - Oxides group
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