Numéro d'identification : WO/2004/005593 (lien OMPI et fichier PDF associé)
Numéro d'identification CEA BD1447
Année de dépôt : 05-07-2002
Date de publication : 15-01-2004
Nano-objets métalliques, formés sur des surfaces de semi-conducteurs, et leur procédé de fabrication
Nano-objets métalliques, formés sur des surfaces de semi-conducteurs, et leur procédé de fabrication. L'invention s'applique en nano-électronique et permet par exemple d'obtenir des nano-objets (4) par dépôt d'un métal sur une surface préparée (2) de SiC de structure cubique.
Metal nano-objects, formed on semiconductor surfaces, and method for making said nano-objects
(WIPO link)
The invention concerns metal nano-objects, formed on semiconductor surfaces, and the process for making them. The invention is applicable in nanoelectronics for example to obtain nano-objects (4) by deposition of a metal on a prepared surface of cubic SiC (2).
Contact: P. Soukiassian
• IRAMIS: Saclay Institute of Matter and Radiation • Laboratory of Physics and Chemistry of Surfaces and Interfaces • Service de Physique et Chimie des Surfaces et des Interfaces
• Laboratory of Nanostructures Studies and Surface Imagery (LENSIS) • Laboratoire d'Etude des NanoStructures et Imagerie de Surface (LENSIS)